บริษัท หางโจว นั่ว เทคโนโลยี กรุ๊ป จำกัด

กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

อาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์สูงใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การตกตะกอนไอสารเคมี การเจริญเติบโตของผลึก การออกซิเดชันด้วยความร้อน การเจริญเติบโตแบบเอพิแท็กซี การแพร่ การผลิตโพลีซิลิคอน ทังสเตน การฝังไอออน ตัวนำกระแสไฟฟ้า การเผาผนึก เป็นต้น อาร์กอนสามารถใช้เป็นก๊าซป้องกันในการผลิตผลึกเดี่ยวและโพลีซิลิคอน เพื่อปรับปรุงคุณภาพของผลึกซิลิคอนได้ อาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถใช้เป็นก๊าซเฉื่อยสำหรับการทำความสะอาดระบบ การป้องกัน และการเพิ่มความดัน และยังสามารถใช้เป็นก๊าซพาหะในการแยกสารด้วยวิธีโครมาโทกราฟีได้อีกด้วย