โรงงาน ASU ผลิตก๊าซเหลวเป็นเจ็ดขั้นตอนต่อไปนี้:

1. ก่อนการบีบอัดอากาศจะถูกกรองไว้ล่วงหน้า

2.Air ถูกบีบอัดซึ่งความดันส่งมอบขั้นสุดท้ายจะถูกกำหนดโดยการกู้คืนและสถานะของของเหลว (ก๊าซหรือของเหลว) ของผลิตภัณฑ์ แรงกดดันทั่วไปมีช่วงระหว่าง 5 และ 10 บาร์เกจ กระแสอากาศอาจถูกบีบอัดเป็นแรงกดดันที่แตกต่างกันเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของ ASU ในระหว่างการบีบอัดน้ำจะถูกควบแน่นในเครื่องทำความเย็นระหว่างเวที

3. โดยทั่วไปแล้วอากาศจะถูกส่งผ่านเตียงตะแกรงโมเลกุลซึ่งจะกำจัดไอน้ำที่เหลืออยู่รวมถึงคาร์บอนไดออกไซด์ซึ่งจะตรึงและเสียบอุปกรณ์แช่แข็ง ตะแกรงโมเลกุลมักถูกออกแบบมาเพื่อกำจัดไฮโดรคาร์บอนก๊าซออกจากอากาศเนื่องจากสิ่งเหล่านี้อาจเป็นปัญหาในการกลั่นอากาศที่ตามมาซึ่งอาจนำไปสู่การระเบิด เตียงตะแกรงโมเลกุลจะต้องสร้างใหม่ สิ่งนี้ทำได้โดยการติดตั้งหลายหน่วยการทำงานในโหมดสลับและใช้ก๊าซขยะที่ทำจากน้ำแบบแห้งเพื่อกำจัดน้ำ

4. ผ่านกระบวนการอากาศจะผ่านเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบรวม (โดยปกติจะเป็นเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนครีบแผ่น) และระบายความร้อนกับลำธารที่เย็นลงของผลิตภัณฑ์ (และของเสีย) ส่วนหนึ่งของของเหลวในอากาศเพื่อสร้างของเหลวที่อุดมไปด้วยออกซิเจน ก๊าซที่เหลือนั้นอุดมไปด้วยไนโตรเจนและถูกกลั่นไปที่ไนโตรเจนบริสุทธิ์เกือบ (โดยทั่วไป <1ppm) ในคอลัมน์การกลั่นความดันสูง (HP) คอนเดนเซอร์ของคอลัมน์นี้ต้องการการแช่แข็งซึ่งได้รับจากการขยายกระแสที่อุดมไปด้วยออกซิเจนมากขึ้นในวาล์วหรือผ่านตัวขยาย (คอมเพรสเซอร์ย้อนกลับ)

5 อีกวิธีหนึ่งคอนเดนเซอร์อาจถูกทำให้เย็นลงโดยการเปลี่ยนความร้อนด้วยหม้อไอน้ำในคอลัมน์การกลั่นความดันต่ำ (LP) (ทำงานที่ 1.21.3 บาร์ ABS) เมื่อ ASU ผลิตออกซิเจนบริสุทธิ์ เพื่อลดค่าใช้จ่ายในการบีบอัดคอนเดนเซอร์/reboiler รวมของคอลัมน์ HP/LP จะต้องทำงานด้วยความแตกต่างของอุณหภูมิเพียง 1-2 องศาเคลวินต้องใช้เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนอลูมิเนียม ความบริสุทธิ์ของออกซิเจนโดยทั่วไปอยู่ในช่วง 97.5% ถึง 99.5% และมีอิทธิพลต่อการกู้คืนออกซิเจนสูงสุดความเย็นที่จำเป็นสำหรับการผลิตผลิตภัณฑ์ของเหลวนั้นได้มาจากผล JT ดังนั้นส่วนหนึ่งของอากาศจะไม่ถูกแยกออกและต้องออกจากคอลัมน์ความดันต่ำเป็นกระแสของเสียจากส่วนบนของมัน

6 เนื่องจากจุดเดือดของอาร์กอน (87.3 K ที่เงื่อนไขมาตรฐาน) อยู่ระหว่างออกซิเจน (90.2 K) และไนโตรเจน (77.4 K) อาร์กอนสร้างขึ้นในส่วนล่างของคอลัมน์ความดันต่ำ เมื่อมีการผลิตอาร์กอนการดึงด้านไอจะถูกนำมาจากแรงดันต่ำ

คอลัมน์ที่ความเข้มข้นของอาร์กอนสูงที่สุด มันถูกส่งไปยังคอลัมน์อื่นแก้ไขอาร์กอนไปยังความบริสุทธิ์ที่ต้องการซึ่งของเหลวจะถูกส่งกลับไปยังตำแหน่งเดียวกันในคอลัมน์ LP การใช้บรรจุภัณฑ์ที่มีโครงสร้างที่ทันสมัยซึ่งมีแรงดันลดลงต่ำมากทำให้เกิดความบริสุทธิ์อาร์กอนน้อยกว่า 1 ppm แม้ว่าอาร์กอนจะมีอยู่ในน้อยถึง 1% ของการเข้ามาคอลัมน์ Air Argon ต้องใช้พลังงานจำนวนมากเนื่องจากอัตราส่วนการไหลย้อนกลับที่ต้องการ (ประมาณ 30) ในคอลัมน์อาร์กอน การระบายความร้อนของคอลัมน์อาร์กอนสามารถจัดหาได้จากของเหลวที่อุดมไปด้วยความเย็นหรือไนโตรเจนเหลว

7 ในที่สุดผลิตภัณฑ์ที่ผลิตในรูปแบบก๊าซจะอุ่นขึ้นกับอากาศที่เข้ามาถึงอุณหภูมิแวดล้อม สิ่งนี้ต้องใช้การรวมความร้อนที่สร้างขึ้นอย่างระมัดระวังซึ่งจะต้องให้ความทนทานต่อการรบกวน (เนื่องจากการสลับไปทั่วเตียงตะแกรงโมเลกุล) นอกจากนี้ยังอาจต้องใช้เครื่องทำความเย็นภายนอกเพิ่มเติมในระหว่างการเริ่มต้น