1. เครื่องอัดอากาศ : อากาศถูกอัดด้วยแรงดันต่ำ 5-7 bar (0.5- 0.7 mpa)ทำได้โดยใช้คอมเพรสเซอร์รุ่นล่าสุด (แบบสกรู/แรงเหวี่ยง)

2. Pre Cooling System : ขั้นตอนที่สองของกระบวนการเกี่ยวข้องกับการใช้สารทำความเย็นเพื่อทำความเย็นอากาศที่ผ่านการประมวลผลให้มีอุณหภูมิประมาณ 12 องศาเซลเซียส ก่อนที่จะเข้าสู่เครื่องฟอกอากาศ

3. การทำให้อากาศบริสุทธิ์ด้วยเครื่องฟอก : อากาศจะเข้าสู่เครื่องฟอกอากาศ ซึ่งประกอบด้วยเครื่องทำให้แห้งแบบตะแกรงโมเลกุลคู่ที่ทำงานสลับกัน ตะแกรงโมเลกุลจะแยกก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์และความชื้นออกจากอากาศในกระบวนการก่อนที่อากาศจะไปถึงที่หน่วยแยกอากาศ

4. การระบายความร้อนด้วยอากาศแบบไครโอเจนิกโดยเครื่องขยาย : อากาศจะต้องถูกทำให้เย็นลงจนถึงอุณหภูมิต่ำกว่าศูนย์จึงจะทำให้เกิดของเหลวได้การทำความเย็นและการทำความเย็นแบบไครโอเจนิกนั้นมาจากตัวขยายเทอร์โบที่มีประสิทธิภาพสูง ซึ่งจะทำให้อากาศเย็นลงจนถึงอุณหภูมิที่ต่ำกว่า -165 ถึง-170 องศาเซลเซียส

5. การแยกอากาศเหลวออกเป็นออกซิเจนและไนโตรเจนด้วยคอลัมน์แยกอากาศ : อากาศที่เข้าสู่เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนชนิดครีบปลายแรงดันต่ำจะปราศจากความชื้น ปราศจากน้ำมัน และปราศจากคาร์บอนไดออกไซด์มันถูกระบายความร้อนภายในตัวแลกเปลี่ยนความร้อนที่อุณหภูมิต่ำกว่าศูนย์โดยกระบวนการขยายอากาศในตัวแผ่ขยายเป็นที่คาดหวังว่าเราจะบรรลุส่วนต่างเดลต้าที่ต่ำถึง 2 องศาเซลเซียสที่ปลายเครื่องแลกเปลี่ยนที่อบอุ่นอากาศจะกลายเป็นของเหลวเมื่อไปถึงช่องแยกอากาศ และถูกแยกออกเป็นออกซิเจนและไนโตรเจนโดยกระบวนการแก้ไข

6. ออกซิเจนเหลวถูกเก็บไว้ในถังเก็บของเหลว : ออกซิเจนเหลวจะถูกเติมลงในถังเก็บของเหลวที่เชื่อมต่อกับเครื่องทำให้เหลวกลายเป็นระบบอัตโนมัติท่อท่อใช้สำหรับนำออกซิเจนเหลวออกจากถัง