1. อากาศดิบมาจากแหล่งจ่ายอากาศ ผ่านตัวกรองอากาศเพื่อกำจัดฝุ่นละอองและอนุภาคเชิงกลอื่นๆ จากนั้นเข้าสู่เครื่องอัดอากาศแบบไม่ใช้สารหล่อลื่นเพื่ออัดด้วยเครื่องอัดอากาศสองขั้นตอนจนได้ความดันประมาณ 0.65 MPa(g) แล้วผ่านตัวระบายความร้อนและเข้าสู่หน่วยทำความเย็นล่วงหน้าเพื่อลดอุณหภูมิลงเหลือ 5-10 ℃

จากนั้นจะส่งไปยังเครื่องกรอง MS แบบสลับการทำงานเพื่อกำจัดความชื้น คาร์บอนไดออกไซด์ และไฮโดรเจน เครื่องกรองประกอบด้วยภาชนะบรรจุสารดูดซับโมเลกุลสองใบ ใบหนึ่งกำลังใช้งานอยู่ ในขณะที่อีกใบหนึ่งกำลังอยู่ในกระบวนการฟื้นฟูโดยใช้ไนโตรเจนเหลือทิ้งจากกล่องเย็นและให้ความร้อนด้วยเครื่องทำความร้อน

2. หลังจากผ่านการทำให้บริสุทธิ์แล้ว ส่วนเล็กน้อยจะถูกนำไปใช้เป็นก๊าซรองรับสำหรับเครื่องขยายตัวของกังหัน ส่วนที่เหลือจะเข้าสู่กล่องเย็นเพื่อลดอุณหภูมิด้วยการไหลย้อนกลับ (ออกซิเจนบริสุทธิ์ ไนโตรเจนบริสุทธิ์ และไนโตรเจนเหลือทิ้ง) ในเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก อากาศบางส่วนจะถูกดึงออกมาจากส่วนกลางของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลักและส่งไปยังกังหันขยายตัวเพื่อสร้างความเย็น อากาศที่ขยายตัวส่วนใหญ่จะผ่านตัวทำความเย็นย่อยซึ่งจะถูกทำให้เย็นลงด้วยออกซิเจนจากคอลัมน์ด้านบนก่อนที่จะส่งไปยังคอลัมน์ด้านบน ส่วนเล็กน้อยจะผ่านทางบายพาสไปยังท่อไนโตรเจนเหลือทิ้งโดยตรงและถูกทำให้ร้อนขึ้นอีกครั้งก่อนที่จะออกจากกล่องเย็น ส่วนที่เหลือของอากาศจะถูกทำให้เย็นลงต่อไปจนมีอุณหภูมิใกล้เคียงกับอุณหภูมิของอากาศเหลวไปยังคอลัมน์ด้านล่าง

3. ในคอลัมน์ล่าง อากาศจะถูกแยกและทำให้เป็นของเหลวกลายเป็นไนโตรเจนเหลวและอากาศเหลว ส่วนหนึ่งของไนโตรเจนเหลวจะถูกดึงออกมาจากด้านบนของคอลัมน์ล่าง อากาศเหลวหลังจากถูกทำให้เย็นลงและลดความดันแล้วจะถูกส่งไปยังส่วนกลางของคอลัมน์บนเป็นของเหลวไหลย้อนกลับ

4. ออกซิเจนที่เป็นผลิตภัณฑ์จะถูกดึงออกมาจากส่วนล่างของคอลัมน์ด้านบน และถูกทำให้ร้อนขึ้นอีกครั้งด้วยเครื่องทำความเย็นแบบใช้ลมขยายตัว และเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก จากนั้นจึงถูกส่งออกจากคอลัมน์ ไนโตรเจนที่เป็นของเสียจะถูกดึงออกมาจากส่วนบนของคอลัมน์ด้านบน และถูกทำให้ร้อนขึ้นอีกครั้งในเครื่องทำความเย็นและเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลักก่อนที่จะถูกส่งออกจากคอลัมน์ ส่วนหนึ่งจะถูกนำไปใช้เป็นก๊าซสำหรับการฟื้นฟูเครื่องกรอง MS ไนโตรเจนบริสุทธิ์จะถูกดึงออกมาจากส่วนบนของคอลัมน์ด้านบน และถูกทำให้ร้อนขึ้นอีกครั้งในอากาศเหลว เครื่องทำความเย็นแบบใช้ไนโตรเจนเหลว และเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลักก่อนที่จะถูกส่งออกจากคอลัมน์

5. ออกซิเจนที่ออกจากหอการกลั่นจะถูกอัดเพื่อส่งให้ลูกค้า