1. อากาศดิบมาจากอากาศ ผ่านตัวกรองอากาศเพื่อกำจัดฝุ่นละอองและอนุภาคทางกลอื่นๆ และเข้าสู่เครื่องอัดอากาศแบบไม่หล่อลื่นเพื่ออัดด้วยเครื่องอัดอากาศสองขั้นตอนจนมีกำลังประมาณ 0.65 MPa(g) ผ่านตัวทำความเย็นและเข้าสู่หน่วยทำความเย็นล่วงหน้าเพื่อทำความเย็นที่ 5~10℃

จากนั้นจึงส่งไปยังเครื่องกรอง MS แบบสลับเพื่อกำจัดความชื้น CO2 และคาร์บอนไฮโดรเจน เครื่องกรองประกอบด้วยภาชนะที่บรรจุตะแกรงโมเลกุล 2 ใบ ภาชนะใบหนึ่งใช้งานในขณะที่อับเรณูกำลังได้รับการฟื้นฟูโดยใช้ไนโตรเจนเสียจากกล่องเย็นและผ่านความร้อนจากเครื่องทำความร้อน

2. หลังจากทำการทำให้บริสุทธิ์แล้ว ส่วนเล็ก ๆ ของอากาศจะถูกใช้เป็นก๊าซแบริ่งสำหรับเครื่องขยายกังหัน ส่วนอื่น ๆ จะเข้าสู่กล่องเย็นเพื่อทำการระบายความร้อนด้วยรีฟลักซ์ (ออกซิเจนบริสุทธิ์ ไนโตรเจนบริสุทธิ์ และไนโตรเจนเสีย) ในเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก ส่วนหนึ่งของอากาศจะถูกแยกออกจากส่วนกลางของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลักและไปที่กังหันขยายเพื่อผลิตความเย็น อากาศที่ขยายตัวส่วนใหญ่จะผ่านซับคูลเลอร์ซึ่งจะถูกระบายความร้อนด้วยออกซิเจนจากคอลัมน์ด้านบนเพื่อส่งไปยังคอลัมน์ด้านบน ส่วนเล็ก ๆ ของอากาศจะผ่านบายพาสไปยังท่อไนโตรเจนเสียโดยตรงและถูกทำให้ร้อนอีกครั้งเพื่อออกจากกล่องเย็น อากาศส่วนอื่น ๆ ยังคงได้รับการระบายความร้อนจนเกือบเป็นของเหลวเพื่อล่อให้คอลัมน์ด้านล่าง

3. ในอากาศคอลัมน์ล่าง อากาศจะถูกแยกและเปลี่ยนสถานะเป็นของเหลวในรูปไนโตรเจนเหลวและอากาศเหลว ไนโตรเจนเหลวบางส่วนจะถูกแยกออกจากส่วนบนของคอลัมน์ล่าง อากาศเหลวหลังจากเย็นลงและควบคุมปริมาณแล้ว จะถูกส่งไปยังส่วนกลางของคอลัมน์บนในรูปของการไหลย้อน

4. ผลิตภัณฑ์ออกซิเจนจะถูกแยกออกจากส่วนล่างของคอลัมน์ด้านบนและถูกทำให้ร้อนซ้ำโดยซับคูลเลอร์อากาศที่ขยายตัวซึ่งเป็นตัวแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก จากนั้นจึงส่งออกไปนอกคอลัมน์ ไนโตรเจนเสียจะถูกแยกออกจากส่วนบนของคอลัมน์ด้านบนและถูกทำให้ร้อนซ้ำในซับคูลเลอร์และตัวแลกเปลี่ยนความร้อนหลักเพื่อส่งออกไปนอกคอลัมน์ ส่วนหนึ่งของไนโตรเจนจะถูกใช้เป็นก๊าซฟื้นฟูสำหรับเครื่องฟอก MS ไนโตรเจนบริสุทธิ์จะถูกแยกออกจากส่วนบนของคอลัมน์ด้านบนและถูกทำให้ร้อนซ้ำในอากาศเหลว ซับคูลเลอร์ไนโตรเจนเหลวและตัวแลกเปลี่ยนความร้อนหลักเพื่อส่งออกไปนอกคอลัมน์

5. ออกซิเจนจากคอลัมน์กลั่นจะถูกอัดไปยังลูกค้า