1. อากาศดิบมาจากอากาศ ผ่านตัวกรองอากาศเพื่อกำจัดฝุ่นละอองและอนุภาคทางกลอื่นๆ และเข้าสู่เครื่องอัดอากาศแบบไม่หล่อลื่นเพื่ออัดด้วยเครื่องอัดสองขั้นตอนให้ได้ประมาณ 0.65 MPa(g) อากาศจะผ่านตัวทำความเย็นและเข้าสู่หน่วยทำความเย็นล่วงหน้าเพื่อทำความเย็นที่อุณหภูมิ 5~10℃

จากนั้นจึงส่งไปยังเครื่องกรอง MS แบบสลับเพื่อกำจัดความชื้น CO2 และคาร์บอนไฮโดรเจน เครื่องกรองประกอบด้วยภาชนะที่บรรจุตะแกรงโมเลกุลสองใบ ใบหนึ่งใช้งานในขณะที่อับเรณูกำลังถูกฟื้นฟูโดยไนโตรเจนเสียจากกล่องเย็นและผ่านความร้อนจากเครื่องทำความร้อน

2. หลังจากการทำให้บริสุทธิ์แล้ว ส่วนเล็กๆ ของอากาศจะถูกใช้เป็นก๊าซแบริ่งสำหรับตัวขยายกังหัน ส่วนอื่นๆ จะเข้าสู่กล่องเย็นเพื่อระบายความร้อนด้วยรีฟลักซ์ (ออกซิเจนบริสุทธิ์ ไนโตรเจนบริสุทธิ์ และไนโตรเจนเสีย) ในเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก อากาศส่วนหนึ่งจะถูกแยกออกจากส่วนกลางของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลักและไปยังกังหันขยายเพื่อผลิตความเย็น อากาศที่ขยายตัวส่วนใหญ่จะผ่านซับคูลเลอร์ ซึ่งระบายความร้อนด้วยออกซิเจนจากคอลัมน์ด้านบนเพื่อส่งไปยังคอลัมน์ด้านบน ส่วนเล็กๆ จะผ่านบายพาสไปยังท่อไนโตรเจนเสียโดยตรง และถูกให้ความร้อนซ้ำเพื่อออกจากกล่องเย็น ส่วนอากาศที่เหลือจะยังคงเย็นลงจนเกือบเป็นของเหลว ล่อให้อากาศไหลลงสู่คอลัมน์ด้านล่าง

3. ในอากาศคอลัมน์ล่าง อากาศจะถูกแยกและเปลี่ยนสถานะเป็นของเหลวในรูปไนโตรเจนเหลวและอากาศเหลว ไนโตรเจนเหลวบางส่วนถูกแยกออกจากส่วนบนของคอลัมน์ล่าง อากาศเหลวหลังจากเย็นลงและควบคุมความดันแล้วจะถูกส่งต่อไปยังส่วนกลางของคอลัมน์บนในรูปของรีฟลักซ์

4. ออกซิเจนที่ผลิตได้จะถูกแยกออกจากส่วนล่างของคอลัมน์บนและถูกทำให้ร้อนอีกครั้งโดยเครื่องทำความเย็นย่อยอากาศแบบขยาย ซึ่งเป็นเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก จากนั้นจึงถูกส่งออกไปนอกคอลัมน์ ไนโตรเจนเสียจะถูกแยกออกจากส่วนบนของคอลัมน์บนและถูกทำให้ร้อนอีกครั้งในเครื่องทำความเย็นย่อยและตัวแลกเปลี่ยนความร้อนหลักเพื่อส่งออกไปนอกคอลัมน์ ส่วนหนึ่งของไนโตรเจนจะถูกนำไปใช้เป็นก๊าซรีเจนเนอเรชันสำหรับเครื่องฟอก MS ไนโตรเจนบริสุทธิ์จะถูกแยกออกจากส่วนบนของคอลัมน์บนและถูกทำให้ร้อนอีกครั้งในอากาศเหลว เครื่องทำความเย็นย่อยไนโตรเจนเหลว และเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก เพื่อส่งออกไปนอกคอลัมน์

5. ออกซิเจนจากคอลัมน์กลั่นจะถูกอัดไปยังลูกค้า